不只是空调系统，净化车间系统中还包括有真空，空压，氮气，纯水，废水，二氧化碳系统，制程排气系统，检测标准：

1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是净化车间效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流净化车间工作区的平均气流通度及其均匀性。

2、系统或房间的风量检测。

3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。

4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。

5、气流流型检测。

6、噪声的检测。

7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。

8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明净化车间各表明的振动幅度。

9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测净化车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测净化车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，无尘车间施工，检测室内空气相对温度，检测回风温度。

10、总风量和新风量的检测。

现在有些洁净室在生产过程中使用了、、等化学危险物品，对洁净室构成了潜在的火灾威胁。三、洁净室建筑防火设计中应把握的基本原则根据洁净室的特点及其火灾特性，为了保障人民生命、财产安全，尽量减少火灾中的损失，便于人员疏散和抢救，我们在建筑防火设计中应遵循以下几个原则。1、耐火等级和防火分区从许多洁净室火灾实例中我们不难发现，严格控制建筑物的耐火等级十分必要，设计时将厂房的耐火等级定为一、二级，使其建筑构件的耐火性能与甲、乙类生产厂房相适应，从而大大减少了火灾发生的可能性。限制防火墙间的面积，设置防火分区，一是可以控制火灾蔓延，减少火灾损失;二是便于火场扑救，使消防人员既容易在现场寻找火源，也容易安全撤离。设计人员在设计时应充分考虑洁净室的特点，严格控制防火分区，使之达到规范要求，我国现行消防技术规范已对洁净室防火分区提出了明确的要求，无尘车间公司，规定甲、乙类生产的洁净室宜为单层，无尘车间工程，其防火分区允许建筑面积，江西无尘车间，单层厂房宜为3000平方米，多层厂房宜为2000平方米;丙、丁、戊类生产的洁净室其防火分区允许建筑面积应符合现行《建筑设计防火规范》的规定。除此以外，我们还应特别注意洁净室的顶棚和壁板、洁净生产区与一般生产区间的隔断以及技术竖井等部位的防火处理，要求其必须采用不燃烧体材料，且耐火极限要达到相应技术规范的要求。2、安全疏散鉴于洁净室自身的特点，我们在设计中应充分考虑人员安全疏散的要求，综合分析疏散、疏散路线、疏散距离等因素，通过科学计算，选出疏散线路，合理布置安全出口和疏散通道，建立起一个安全的疏散结构体系，使之满足从生产地点到安全出口不经过曲折的净化路线。此外，由于洁净室多处于密闭状态，自然采光条件差，必须在厂房内设置火灾事故照明和应急疏散照明，并应在安全出口、疏散口和疏散通道转角处设置明显的疏散指示标志以便人员认清方向，迅速撤离事故现场。

洁净室具有风量大，空调系统风压高，运行时间长等特点，故其能耗比一般建筑为大。因此，在设计中应考虑节能措施。一、能耗特点国外对普通办公楼与一般洁净厂房的风量作比较，其大致数值见表27.10-1。普通民用空调（如办公楼、旅馆）单位建筑面积的冷负荷在100~130w，而半导体厂房的冷负荷可能高达500~1000w/㎡。从符合因数来看：微电子生产车间的空调能耗中工艺而设备负荷、输送负荷以及新风负荷主体，一般均占90％以上，图27.10-1为某芯片（φ300mm）生产厂房冷负荷的成分组成。表27.10-2还给出了不同级别洁净室的负荷组成供参考。另一个特点是：从全年来看所有季节均存在冷却负荷，即其供冷季节长，这也是从整体上讲其能耗大的原因

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